摩擦學是一門研究物體相對運動時其表面摩擦、潤滑、磨損三者間相互關系的交叉學科,摩擦學實驗研究的重點和難點之一在于對磨損量的定量分析。磨損量涵蓋了磨損區(qū)的輪廓尺寸、粗糙度、體積這線、面、體三個維度方面的參數(shù),量級從納米到毫米不等,又由于不可破壞性測量,傳統(tǒng)的低精度接觸式輪廓儀和影像儀無法適用,而以白光干涉為原理、具備高精度、非接觸式測量能力的
三豐表面輪廓儀登上了摩擦學研究的舞臺。
下面要與大家分享的是三豐表面輪廓儀的校準方法:
1、三維形貌校準:
這一校準都和形貌測量的“高度”結果相關,所以稱為三維校準。主要包括對干涉物鏡參考面形貌誤差的標定;以及使用標準臺階塊對臺階高度測試精度校準。
2、二維光強校準:
這一校準和成像視場范圍內的“光強”信號相關。設備有一些功能,可以增強用戶對樣品表面觀察效果。比如在某觀測模式下,可以自動去除視場中黑白條紋,更清楚地觀測表面紋理;真彩模式可以復現(xiàn)表面彩色信息。由于以上功能相關標定都只涉及“光強”,不涉及到形貌高度,所以稱為二維光強校準。
3、橫向校準:
這一校準是為了標定在當前設置下,每個像素在橫向上代表的尺寸大小。
目前三豐表面輪廓儀適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。多項式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值,交互縮放,X-Y和線段剖面,三維線路、混合和固定繪圖,用于階越高度測量的地區(qū)差異繪圖。